| 项目 | 参数 | ||
| 测量范围 | X轴驱动器 | 100mm | |
| Z1（传感器） | 40mm | ||
| 立柱行程 | 500mm | ||
| 指示精度 |
X轴 （L=X轴移动导轨距离） |
±(1.2+0.02L)μm | |
|
Z1轴 （H=Z1轴方向测量高度） |
±(1.0+0.05H)μm | ||
| 角度 | ≤±1.5′ | ||
|
圆弧 （R=标准圆弧值） |
≤±(1.2+R/12)μm | ||
| X轴 | 直线度 | 0.8μm /100mm | |
| 分辨率 | 0.1μm | ||
| 传感器 | 类型 | 光栅传感器 | |
| 分辨率 | 0.1μm | ||
| 测针形状 | 25μm 12° | ||
| 测针材质 | 硬质合金 | ||
| 测量方式 | 传感器移动 | ||
| 运动控制 | 导轨速度 | 0.02mm至6mm/s | |
| 立柱移动速度 | 0.1mm至10mm/s | ||
| 测量速度 | 0.02mm至5.0mm/s | ||
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