二次元影像测量仪

仪器测量原理
该仪器为直角坐标测量法，触针接触式。X轴采用高精密的直线导轨为基准，Z1轴采用数字传感器，测绘出被测零件的表面轮廓形状的坐标点，通过计算机的软件对传感器采集的原始数据进行数学运算处理，标注所需的测量项目。
 
测量功能
 
粗糙度分析：Ra、Rq、Rz、Rp、Rt、Rsk、Rsm、Rc、Rz(DIN)、R3z、Rz(jis)、Rpmax
            Rpm、Rku、Rdq/R△q、RδC、Mr1、Mr2、Rpk、Rvk、Rk、Rdc、A1、A2
            Rx、AR、Rpc、Rmax、Rz-ISO、4um、Ry
 
波纹度分析：Wt、Wa、Wp、Wv、Wq、Wc、Wku、Wsk、W、Wx、Wz、Wsm、Wdc、Wte
            Wmr、Aw、C(Wmr)、Wmr(C)、Wdq/W△q
 
原始轮廓分析：Pt、Pa、Pp、Pv、Pq、Pc、Pku、Psk、Pdq/p-q、Psm、Pdc、Pmr(c)、Pz
              Pmr、C(pmr)
 
技术参数

项目			参数
测量范围	X轴驱动器		100mm
	Z1（传感器） 粗糙度和轮廓共用		20mm
	立柱高度		400mm
测量精度	X轴 （L=X轴移动导轨距离）		±(0.8+0.2L/100)μm
	Z1轴 （H=Z1轴方向测量高度）		±(0.8+|0.2H|/100)μm
	残值轮廓		≤0.005μm
	示值误差		≤±(5nm+0.1A)
	示值重复性		≤±3%
X轴	直线度		0.6μm /100mm
	分辨率		0.01μm
传感器	类型		光栅传感器
	分辨率		0.001μm
评定长度			λc×3、4、5、6、7
截止波长			0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm
运动控制		导轨移动速度	0.02mm至4.0mm/s
		测量速度	0.02mm至4.0mm/s