项目 | 参数 | |
测量范围 | 最大直径 | ф300mm |
最小内径 | ф3mm | |
最大高度 | 350mm | |
主轴精度 | 径向误差 | ±(0.025+5H/10000)μm |
轴向误差 | ±(0.02+6X/10000)μm | |
工作台 | 台面直径 | φ160mm |
回转直径 | φ320mm | |
承载重量 | 30Kg | |
调整范围 | 调偏心±2mm ; 调水平±1° | |
旋转速度 | 0-12 rpm | |
水平臂 | 水平移动距离 | 150mm |
移动速度 | 0.5-6mm/s 或手动 | |
传感器 | 量程 | 500μm (半径差) |
分辨率 | 0.005μm | |
测针形状 | φ2mm宝石球测头(有更多直径可选择) | |
测力 | 1-12g | |
传感器方向 | 双方向/±45° | |
数据采集 | 进口光栅7200点/周 | |
放大倍率 | 任意至最大20万倍 |
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